Caractérisation des Microstructures.
Métallographie
Microscopie électronique (MEB, MET, EBSD)
Diffraction des rayons X
Analyses de surfaces (XPS/Auger, AFM).
Responsable : Andras BORBELY, 04 77 42 02 79
Métallographie :
Contacts :
Gilles BLANC, 04 77 42 66 73
Prisca LEVEQUE, 04 77 49 97 39
Le microscope optique métallographique permet, principalement, l’étude des constituants des matériaux métalliques, céramiques, polymères. Aisni, que l’étude métallographique sur les matériaux tels que les couches PVD, CVD, les traitements de conversion et la fissuration.
Microscope Optique Métallographique
Microscopie électronique :
Contacts :
Paul JOUFFREY, 04 77 42 00 09
Sergio SAO JOAO, 04 77 42 00 39
Claire MAURICE, 04 77 42 02 89
Grâce au microscope électronique à balayage conventionnel et au microscope électronique à balayage haute résolution, le service MEB(3) - EBSD peut analyser la topographie, les microstructures, les défauts de surface, les inclusions, les précipités…
Microscope Electronique à Balayage Conventionnel
Microscope Electronique à Balayage à haute résolution
XPS - Auger - AFM- SDL :
Contacts :
Krzysztof WOLSKI, 04 77 42 66 18
Vincent BARNIER, 04 77 49 97 46
Pierre PASSET, 04 77 42 00 35
Le spectromètre Auger facilite l’analyse de la composition chimique de l’extrême surface (monocouche à quelques nanomètres), avec très bonne résolution latérale, sur des matériaux conducteurs, compatibles avec l’ultravide, études de la fragilité intergranulaire.
Le spectromètre Auger - XPS est, outre les caractéristiques précédentes, applicable aux domaines : de traitements de surface avec identification des contaminations superficielles, notamment pour des applications en optique, de la tenue en service, de la corrosion et de la microélectronique.
Et, pour finir, le microscope à force atomique permet l’analyse de la topographie des surfaces planes avec en particulier les mesures de la rugosité.
Microscope à force atomique (Topometrix)
Diffraction de rayons X et Thermographie infrarouge :
Contacts :
Andras BORBELY, 04 77 42 01 97
Huguette BRUYAS, 04 77 42 00 55
Maud SCHEMBRI-BIMBLICH, 04 77 42 00 55
Le diffractomètre à rayon X identifie des structures de matériaux massifs cristallisés, analyse des textures cristallographiques et des contraintes résiduelles en surface. Appareils parfaitement adaptés aux problèmes d’industrie mécanique et microélectronique.
Le diffractomètre à rayon X sous incidence rasante permet l’identification des composés chimiques cristallisés sous forme des couches minces et ultra minces planes. Appareil parfaitement adapté aux problèmes d’industrie mécanique (revêtements), chimique (couches de corrosion) et microélectronique (contraintes résiduelles dans les films minces).
Diffraction des rayons X sous incidence rasante
La thermographie Infrarouge permet la caractérisation fine et locale dans le domaine de la microélectronique et notamment l’analyse de la fiabilité des microsystèmes, l’évaluation des contraintes locales et la compréhension des mécanismes d’endommagement.